Óriási összefogással válik fenntarthatóbbá az európai chipgyártás – 22 milliárdot szánnak rá

Megkezdte a munkát az európai vállalatokat tömörítő Genesis konzorcium, ami 55 millió eurós (kb. 22 milliárd forintos) költségvetéssel dolgozza ki a félvezetőgyártás fenntartható stratégiáját. A projekt célja nemcsak az európai, hanem a globális gyártási gyakorlat zöldítése.

Az eeNews riportja szerint a chipgyártás környezetterhelésének mérséklésére indított Genesis programban 58 európai vállalat és kutatóintézet vesz részt. A hároméves kezdeményezés célja, hogy csökkentse a félvezetőgyártás energia- és vízfelhasználását, valamint visszaszorítsa a gyártás során keletkező szennyező anyagokat.

„A Genesis a teljes gyártási láncot lefedi, az alapanyagoktól a végtermékig” – jelentette ki Lauren Pain, a program CEA-Leti intézetnél dolgozó koordinátora. „Természetesen foglalkozunk a közvetlen kibocsátásokkal is, de végső soron az a célunk, hogy a hulladék minimalizálásával optimalizáljuk az anyaghasználatot, valamint bevezessük az újrafelhasználást és az értékes anyagok újrahasznosítását.”

A konzorcium tagjai között ott van például az STMicroelectronics, a Bosch, a GlobalFoundries, az Intel, az Infineon, az IBM, az NXP Semiconductor, valamint a Leonardo is, amely ugyan Tucson közelében, Arizonában működtet lézerchipgyártó üzemet, de valójában olasz cég.

A program része az érzékelőkkel felszerelt szennyezéscsökkentő rendszerek telepítése, amelyek célja az „örök vegyi anyagok” (PFAS) és az üvegházhatású gázok kibocsátásának csökkentése. A Genesis négy fő munkafolyamatot határozott meg, amelyek 45 konkrét eredményt hozhatnak a következő három év során.

A programmal azt is szeretnék elérni, hogy 30 százalékban új anyagokat vezessenek be a litográfiai és csomagolási eljárásokban használt gázok és oldószerek kiváltására. Vizsgálják továbbá a hulladék vegyszerek kezelését, a hidrogén újrahasználatát a fémorganikus kémiai gőzfázisú leválasztás során, valamint a polírozási folyamatban alkalmazott oldószerek visszanyerését.

A hulladékminimalizálásnak nem mellesleg része a gallium, illetve a nióbium begyűjtése és visszanyerése – elsősorban geopolitikai okokból, de az is igaz, hogy jelenleg nincs kézzelfogható megoldás a nióbium újrahasznosítására, így muszáj lenne kifejleszteni egyet.

A Genesis ugyancsak figyelmet fordít a szükséges félvezetőipari szaktudás biztosítására. A FAMES alacsony fogyasztású FD-SOI technológiát alkalmazó pilotvonala képzési akadémiát indít.

A félvezetőgyártás egyes ágazataihoz szükséges fenntarthatósági gyakorlatok alakulásával és munkaterveivel itt lehet bővebben ismerkedni.

Gábor János, NEW technology