Optimálisan adaptált megoldások precíziós és nagy tisztaságú alkalmazásokhoz

Legyen  szó milliméteres  kis  összekötő  elemről,  bonyolult  precíziós  optikáról vagy méteres  rendszerelemekről,  a  high-tech  alkatrészekkel  szemben  támasztott tisztasági követelmények számos iparágban egyre szigorúbbak és szigorodnak. Bár a konkrét  specifikációk  az  alkatrésztől,  az  iparágtól  és  az  alkalmazási  területtől függően változnak, a stabil termékminőséghez szükséges eredmény általában nem érhető el hagyományos tisztítórendszerekkel. A precíziós és nagy tisztaságú tisztítási megoldások régóta fennálló szolgáltatójaként az Ecoclean következetesen vezérli az erre a területre vonatkozó tisztítási rendszerek, eljárások és folyamatok fejlesztését, beleértve a speciálisan kialakított berendezéscsomagokat is.

Vannak olyan ágazatok, mint a félvezető-ellátó ipar, az optikai és optoelektronikai ipar, a  vékonyréteg-technológia,  a  vákuum-,  a  lézer- és  az  elemzéstechnika,  valamint  az orvostechnika,  amelyekben  az  alkatrészek  és  alkatrészek  teljesítményével  és megbízhatóságával  szemben  támasztott  követelmények  óriási  mértékben megnövekedtek,  és  továbbra  is  növekedés  tapasztalható.  Ez  hatással  van  az alkatrészek tisztítására.

Magasabb tisztasági követelmények az új termékek és eljárások miatt

A félvezetőgyártó rendszerek alkatrészei esetében az olyan új fejlesztések, mint az EUV litográfiához  használt  szeletléptetők  és  szkennerek,  nemcsak  egyre  bonyolultabb mechanikai alkatrészeket eredményeznek, hanem egyre nagyobbak és nehezebbek is.

Ezeknek a munkadaraboknak az átmérője most egy milliméter és több mint egy méter között van, miközben az „olló” folyamatosan távolodik egymástól. Ezzel párhuzamosan az  anyagok  választéka  is  növekszik.  Emellett  a  szemcsés,  filmkémiai,  szerves  és szervetlen tisztaságra vonatkozó előírások is egyre szigorúbbak. Hasonló a helyzet az UHV,  XHV  és  UCV  tartományban  használt  vákuumtechnikai  alkatrészekkel,  például nagy  teljesítményű  lézerrendszerekben,  csúcstechnológiás  mérő-  és elemzőberendezésekben.  A  precíziós  optikák,  mint  a  tükrök,  lencsék  és  prizmák, valamint  mikrooptikai  alkatrészek  esetében  a  bonyolultabb  geometriák  és  a megváltozott anyagok is új és kihívásokkal teli tisztítási feladatokat eredményeznek. A bevonattechnológiában  egyre  hatékonyabb  folyamatok  igényelnek  rendkívül  tiszta felületeket. És ez függetlenül attól, hogy az olyan alkatrészeket, mint a szerszámgépek, autóalkatrészek és optikai termékek, a bevonat előtt vagy után meg kell tisztítani.

A tisztaság igény szerinti meghatározása

Az alkatrészek tisztítása során ez olyan igényes feladatokat eredményez, amelyek a teljes  gyártási  folyamatra  kiterjednek.  A  tisztasági  követelmények  terméktől, alkalmazási területtől és cégtől függően változnak. A részecsketisztasági előírásokat, amelyek a precíziós és nagy tisztaságú alkalmazásokban a nanométeres tartományba esnek,  általában  a  felületi  tisztasági  osztály  (ORK)  megadásával  határozzák  meg.  A szükséges  filmkémiai,  szerves  és szervetlen  felülettisztaságra  vonatkozó  előírásokat általában  egyedi  előírások  vagy  gyári  szabványok  határozzák  meg,  például  a gázkibocsátási  sebesség,  amelyet  tömegspektrométerrel  értékelnek  ki.  E  feladatok igény  szerinti,  hatékony  és  fenntartható  megoldásához  mind  átfogó  technológiai know-how,  mind  az  alkalmazások  és  a  fizikai  összefüggések  ismerete  szükséges.  A precíziós és nagy tisztaságú tisztítás jövőorientált megoldásainak tapasztalt, teljes körű szolgáltatójaként az Ecoclean mindkettővel rendelkezik. Ez biztosítja, hogy a tisztítási megoldásokat a követelményeknek megfelelően tervezzék és szereljék fel, amelyekkel a meghatározott tisztasági előírások a jelenlegi legmagasabb követelményekig (pl. 1. fokozat) megbízhatóan teljesíthetők.

A megfelelő tisztítási folyamat és rendszertechnológia kiválasztása

A  legmegfelelőbb  tisztítási  eljárás  és  rendszertechnológia  kiválasztásánál  a  fő szempont  az  elérni  kívánt  tisztaság,  az  eltávolítandó  szennyeződés,  valamint  az alkatrész  anyaga  és  geometriája.  Ez  alapján  meghatározható,  hogy  melyik tisztítóközeggel  és  milyen  mechanikával  milyen  folyamatlépések  és  hány  lépés szükséges. Ide tartoznak az olyan szempontok is, mint az öblítőközeg minősége és a szárítási  technológia,  csakúgy,  mint  az  alkatrészkezelés  tisztasága  és  a  környezeti feltételek, például a tiszta helyiségbe való bekötés vagy beépítés.

Ha  specifikációként  az  „olaj-  és  zsírmentes”  szabványt,  például  a  4-es  fokozatot határozzák  meg,  akkor  költséghatékony  és  kompakt,  teljes  vákuumú  egykamrás rendszerek  állnak  rendelkezésre,  amelyek  rendszertechnológiája,  a  közegek továbbítása és feldolgozása, valamint a tervezés kifejezetten csúcsminőségű tisztítási alkalmazásokhoz lett kialakítva. Ezekkel a környezetbarát oldószerekkel vagy vízbázisú tisztítással  üzemeltetett  rendszerekkel  geometriailag  összetett  alkatrészekkel  is megbízhatóan  elérhető  a  követelményeknek  megfelelő  eredmény.  Ehhez  járulnak hozzá a szinte bármilyen módon kombinálható folyamatlehetőségek, mint az injekciós örvény  mosás,  a  permetezés,  a  nagynyomású,  a  merülő,  az  ultrahangos  és  a plazmatisztítás, valamint az Ultrahang Plus vagy a Pulsated Pressure Cleaning (PPC). Módosított  alkoholt  (részben  poláris  oldószert)  gyakran  használnak  ezekhez  az alkalmazásokhoz  a  közeggel  kapcsolatos  előnyök  miatt,  mint  például  a  különböző anyagok tisztításának lehetősége. Az ezekkel a rendszerekkel elérhető követelmények határa például a 2. fokozat.

A kamratisztító rendszerek különösen nagy alkatrészek esetén kínálnak előnyöket a munkakamrában  koncentrált  folyamatmechanikának  köszönhetően,  például  PPC, ultrahangos vagy megasonic és örvénybefecskendezők. Annak érdekében, hogy ezt a 2. fokozathoz vagy a megfelelő tisztasági előírásokhoz lehessen használni, az Ecoclean az EcoCvelát használja kétkamrás rendszerek gyártásához vízbázisú közeggel történő tisztításhoz.  A  speciális,  nagy  tisztaságú  berendezések  mellett  a  tisztításhoz  és öblítéshez  teljesen  különálló  közegáramkörök  biztosítják  a  meghatározott  tisztítási eredmény megbízható és reprodukálható elérését.

Ha a sokféle anyag és/vagy nagy áteresztőképesség, vagy tisztasági előírások miatt a tisztítási feladatok nem oldhatók meg viszonylag rövid időn belül szállítható kamrás rendszerrel,  többfürdős  ultrahangos  tisztítórendszer  szükséges.  Az  UCMSmartLine vagy UCMPerformanceLine szabványos modulokból álló modellsorozat megoldásaival az SBS Ecoclean Group ezen a területen is hatékony megoldásokat kínál. A tisztítási, öblítési,  szárítási,  be-  és  kirakodási  folyamat  lépéseit  szolgáló  modulokba  integrált elektromos  és  vezérlési  technológiának,  valamint  a  rugalmas  szállítórendszernek köszönhetően  lehetővé  teszik  az  adott  feladathoz  való  egyszerű  alkalmazkodást  és bővíthetőek. Az egyedi tervezésű, többfürdős ultrahangos tisztítórendszereket, mint például  az  UCM HighLine,  általában  csúcskategóriás  alkalmazásokban  használják, például a félvezető-ellátó iparban, a lézer- és az optikai iparban.

Folyamatfejlesztés és tervezés a tesztközpontban

Hogy  a  tisztaság  és  a  gazdaságosság  szempontjából  melyik  rendszerkoncepció  a megfelelő, azt az eredeti alkatrészekkel vagy próbatestekkel végzett tisztítási tesztek határozzák  meg.  Az  Ecoclean  rendelkezik  ehhez  a  megfelelő  nagy  tisztaságú tesztközpontokkal. Ez lehetővé teszi a tisztítási folyamatok és folyamatparaméterek termékspecifikus  fejlesztését,  amelyek  programként  elmenthetők  a rendszervezérlésben.  Ez  biztosítja,  hogy  minden  alkatrészt  a  validált folyamatparaméterekkel  kezeljenek,  és  hogy  a  kívánt  tisztaság  stabil  és reprodukálható  módon  valósuljon  meg.  Ezen  túlmenően  minden  lényeges folyamatparaméter monitorozható, dokumentálható és átvihető a magasabb szintű rendszerekbe.

Ecoclean